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SEM高真空检漏仪

产品特点

由可视化高真空检漏腔体和高真空预抽系统组成，模拟电镜内环境，可快速检查样品台和MEMS芯片密封性，保证电镜安全。极限真空≤8×10-7 hPa，检漏操作真空度≤5.4×10-6 hPa。
  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例

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